文献
J-GLOBAL ID:201702240694381555
整理番号:17A0406408
MEMS共振デバイスのための新しい三角電極ベースの静電容量センシング法【Powered by NICT】
A novel triangular-electrode based capacitive sensing method for MEMS resonant devices
著者 (5件):
Ma Wei
(Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
,
Lin Yiyu
(Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
,
Zheng Xudong
(Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
,
Liu Yidong
(Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
,
Jin Zhonghe
(Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
252
ページ:
233-241
発行年:
2016年
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)