文献
J-GLOBAL ID:201702240937290148
整理番号:17A0914540
超音波噴霧熱分解法によるZnOとアルミニウムをドープしたZnO薄膜合成【Powered by NICT】
ZnO and aluminium doped ZnO thin films synthesis by ultrasonic spray pyrolysis technique
著者 (3件):
Fedoseev Alexander G.
(Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia)
,
Lashkova Natalia A.
(Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia)
,
Matyushkin Lev B.
(Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
EIConRus
ページ:
1391-1393
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)