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文献
J-GLOBAL ID：201702241708001856
整理番号：17A0406410
石英法に及ぼすけい素に基づく微細加工微分共鳴加速度計【Powered by NICT】
A micro-machined differential resonance accelerometer based on silicon on quartz method
Li Cun
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Zhao Yulong
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Li Bo
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Cheng Rongjun
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Sun Dengqiang
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Han Chao
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
,
Zhao You
(State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 253 ページ： 1-9 発行年： 2017年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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