文献
J-GLOBAL ID:201702241887347897
整理番号:17A0132723
アザシラン,無水マレイン酸,トリメチルアルミニウム,水を循環的に使用する分子層堆積法
Molecular layer deposition using cyclic azasilanes, maleic anhydride, trimethylaluminum, and water
著者 (4件):
Ju Ling
(Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015)
,
Bao Bo
(Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015)
,
King Sean W.
(Intel Corporation, Hillsboro, Oregon 97124)
,
Strandwitz Nicholas C.
(Department of Materials Science and Engineering and Center for Advanced Materials and Nanotechnology, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
35
号:
1
ページ:
01B136-01B136-8
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)