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文献
J-GLOBAL ID：201702242042582417
整理番号：17A1096275
種々の基板温度とO_2流束でのRF反応性マグネトロンスパッタリングにより作製したFドープSnOまたはSnO_2膜の構造的,電気的,および光学的性質【Powered by NICT】
Structural, electrical, and optical properties of F-doped SnO or SnO2 films prepared by RF reactive magnetron sputtering at different substrate temperatures and O2 fluxes
Zhu B.L.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Zhu B.L.
(State Key Laboratory of Materials Processing and Die & Mould Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, 430074, People’s Republic of China)
,
Zhao X.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Hu W.C.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Li T.T.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Wu J.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Gan Z.H.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Liu J.
(The State Key Laboratory of Refractories and Metallurgy, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan, 430081, People’s Republic of China)
,
Zeng D.W.
(State Key Laboratory of Materials Processing and Die & Mould Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, 430074, People’s Republic of China)
,
Xie C.S.
(State Key Laboratory of Materials Processing and Die & Mould Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, 430074, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 719 ページ： 429-437 発行年： 2017年
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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