文献
J-GLOBAL ID:201702242350530578
整理番号:17A0621527
光学的低コヒーレンス反射率測定によるピエゾ駆動ガラスマイクロメンブレンの試験
Testing of Piezo-Actuated Glass Micro-Membranes by Optical Low-Coherence Reflectometry
著者 (5件):
MERLO Sabina
(Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA)
,
POMA Paolo
(Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA)
,
CRISA Eleonora
(Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA)
,
FARALLI Dino
(STMicroelectronics, Agrate Brianza (MB), ITA)
,
SOLDO Marco
(STMicroelectronics, Cornaredo (Mi), ITA)
資料名:
Sensors (Web)
(Sensors (Web))
巻:
17
号:
3
ページ:
WEB ONLY
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
U7015A
ISSN:
1424-8220
CODEN:
SENSC9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)