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文献
J-GLOBAL ID：201702242666850545
整理番号：17A0991028
チップスケール質量生産性高Qシリコンマイクロディスク【Powered by NICT】
Chip-Scale Mass Manufacturable High-Q Silicon Microdisks
Wang Yujie
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Zhang Nan
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Jiang Zhiqiang
(Department of Applied Physics, Chongqiong University, Chongqing, 404100, P. R. China)
,
Wang Li
(State Key Lab for Mesoscopic Physics and Department of Physics, Peking University, Beijing, 100871, P. R. China)
,
Xiao Yunfeng
(State Key Lab for Mesoscopic Physics and Department of Physics, Peking University, Beijing, 100871, P. R. China)
,
Sun Wenzhao
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Yi Ningbo
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Liu Shuai
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Gu Xiao
(Department of Applied Physics, Chongqiong University, Chongqing, 404100, P. R. China)
,
Xiao Shumin
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
,
Song Qinghai
(State Key Laboratory on Tunable Laser Technology, Ministry of Industry and Information Technology Key Lab of Micro-Nano Optoelectronic Information System, Shenzhen Graduate School, Harbin Institute of Technology, Shenzhen, 518055, China)
資料名：
Advanced Materials Technologies
(Advanced Materials Technologies)
巻： 2 号： 6 ページ： ROMBUNNO.201600299 発行年： 2017年
JST資料番号： W2485A ISSN： 2365-709X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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