文献
J-GLOBAL ID:201702242847704806
整理番号:17A0463113
laSRAF法を用いたVIA状層のためのSRAF挿入
SRAF insertion for VIA-like layers using laSRAF method
著者 (1件):
LUTICH Andrey
(GLOBALFOUNDRIES, Dresden, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10032
ページ:
100320K.1-100320K.10
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)