文献
J-GLOBAL ID:201702242954624557
整理番号:17A0142364
にあるナノ凸形アレイ構造を持つ製造ポリイミド膜のためのシリコン金型ベース製作法【Powered by NICT】
Silicon-mold-based fabrication method for manufacturing polyimide membrane with nano-protuberance array structure
著者 (5件):
Yang Zheng
(Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, Chinese Academy of Sciences, Chongqing 400714, China)
,
Wu Peng
(Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, Chinese Academy of Sciences, Chongqing 400714, China)
,
Rao Xianhua
(Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, Chinese Academy of Sciences, Chongqing 400714, China)
,
Yin Shaoyun
(Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, Chinese Academy of Sciences, Chongqing 400714, China)
,
Du Chunlei
(Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, Chinese Academy of Sciences, Chongqing 400714, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
3M-NANO
ページ:
217-220
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)