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文献
J-GLOBAL ID：201702243007980178
整理番号：17A1090478
クリティカルディメンションの散乱計測用のTiN金属ハードマスクの進んだ光学モデリング
Advanced optical modeling of TiN metal hard mask for scatterometric critical dimension metrology
EBERSBACH Peter
(GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
,
URBANOWICZ Adam M.
(Nova Measuring Instruments, Dresden, DEU)
,
LIKHACHEV Dmitriy
(GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
,
HARTIG Carsten
(GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10145 号： Pt.2 ページ： 101451G.1-101451G.13 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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