文献
J-GLOBAL ID:201702243048980396
整理番号:17A1724209
局所熱処理誘起引張応力による金属MEMS共振器のQブースティング【Powered by NICT】
Q-boosting of metal MEMS resonators via localized anneal-induced tensile stress
著者 (3件):
Ozgurluk Alper
(Dept. of Electrical Engineering and Computer Sciences University of California at Berkeley Berkeley, California, USA)
,
Liu Ruonan
(Dept. of Electrical Engineering and Computer Sciences University of California at Berkeley Berkeley, California, USA)
,
Nguyen Clark T.-C.
(Dept. of Electrical Engineering and Computer Sciences University of California at Berkeley Berkeley, California, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
EFTF IFCS
ページ:
10-15
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)