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文献
J-GLOBAL ID：201702243059855046
整理番号：17A0148713
強固なMEMSデバイスのためのチタン基板上のAl2O3薄膜およびBiFeO3薄膜の堆積と特性評価
Deposition and Characterization of Al2O3 and BiFeO3 Thin Films on Titanium Substrates for Tough MEMS Devices
Kohno Takeshi
(Graduate School of Science and Technology Niigata University)
,
Mihara Masato
(Graduate School of Science and Technology Niigata University)
,
Tanabe Ataru
(Graduate School of Science and Technology Niigata University)
,
Abe Takashi
(Graduate School of Science and Technology Niigata University)
,
Okuyama Masanori
(Institute for NanoScience Design, Osaka University)
,
Sohgawa Masayuki
(Graduate School of Science and Technology Niigata University)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137 号： 1 ページ： 46-47(J-STAGE) 発行年： 2017年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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