前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702243203004673
整理番号：17A0381539
シリコン貫通電極ガラスを用いた個々にアドレス可能なマイクロプローブ電極アレイの製作と測定【Powered by NICT】
Fabrication and measurements of an individually addressable micro-probe electrode array using silicon through-glass via
Shin Young-min
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, Seoul National University, Seoul 151-744, Korea)
,
Kim Yong-Kweon
(Department of Electrical Engineering and Computer Science, Seoul National University, Seoul 151-744, Korea)
,
Lee Seung-Ki
(Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 448-701, Korea)
,
Park Jae-Hyoung
(Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 448-701, Korea)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 648-651 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。