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文献
J-GLOBAL ID：201702243409283214
整理番号：17A1731545
非接触圧電振動子の内部摩擦による蒸着した金属薄膜の形態学的変化のモニタリング【Powered by NICT】
Monitoring of morphological change of deposited metallic thin film through internal friction of noncontacting piezoelectric oscillator
Nakamura Nobutomo
(Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan)
,
Ogi Hirotsugu
(Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IUS ページ： 1 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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