文献
J-GLOBAL ID:201702243508574043
整理番号:17A0027518
MEMSスイッチにおける摩擦電気効果の誘電帯電特性化
Dielectric Charging Characterization of Triboelectric Effects in MEMS Switches
著者 (4件):
Molinero David
(WiSpry Inc., Irvine, CA, USA)
,
Cunningham Shawn
(WiSpry Inc., Irvine, CA, USA)
,
DeReus Dana
(WiSpry Inc., Irvine, CA, USA)
,
Morris Arthur S.
(WiSpry Inc., Irvine, CA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
25
号:
4
ページ:
737-743
発行年:
2016年
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)