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文献
J-GLOBAL ID：201702243537740513
整理番号：17A1440119
ターボ分子ポンプと乾燥バッキングポンプを有する超高真空の発生:完全炭化水素フリー真空の要求を満たす【Powered by NICT】
Generation of UHV with Turbomolecular Pump and Dry Backing Pump: Meeting the demand for completely hydrocarbon-free vacuum
Schopphoff Andreas
(Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Strasse 43, 35614 Asslar)
,
Braunschweig Falk
資料名：
Vakuum in Forschung und Praxis
(Vakuum in Forschung und Praxis)
巻： 29 号： 5 ページ： 22-25 発行年： 2017年
JST資料番号： T0918A ISSN： 0947-076X CODEN： VFPREO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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