文献
J-GLOBAL ID:201702243592623251
整理番号:17A0381551
3次元微細構造のためのエラストマ基板上に付着した部分薄膜【Powered by NICT】
Thin film partially attached onto elastomer substrate for three-dimensional microstructure
著者 (5件):
Takei A.
(Center for Soft Matter Physics, Ochanomizu University 2-1-1 Otsuka Bunkyo, Tokyo 112-8610, Japan)
,
Murano M.
(Department of Physics, The Division of Advanced Sciences, Graduate School of Humanities of Sciences, Ochanomizu University 2-1-1 Otsuka Bunkyo, Tokyo 112-8610, Japan)
,
Tani M.
(Faculty of Core Research, Ochanomizu University 2-1-1 Otsuka Bunkyo, Tokyo 112-8610, Japan)
,
Fujita H.
(Institute of Industrial Science, The University of Tokyo 4-6-1 Komaba, Meguro, Tokyo, Japan)
,
Okumura K.
(Center for Soft Matter Physics, Ochanomizu University 2-1-1 Otsuka Bunkyo, Tokyo 112-8610, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
696-699
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)