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文献
J-GLOBAL ID：201702243617146568
整理番号：17A0605059
電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ
High electromechanical coupling kt2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80MHz
佐野耕平
(早稲田大 先進理工)
,
唐澤嶺
(早稲田大 先進理工)
,
柳谷隆彦
(早稲田大 先進理工)
,
柳谷隆彦
(JST-さきがけ)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117 号： 14(US2017 1-13) ページ： 59-63 発行年： 2017年04月20日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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