文献
J-GLOBAL ID:201702243793101210
整理番号:17A0551411
空気中における窒化チタンナノ薄膜の温度効果
Temperature effect on titanium nitride nanometer thin film in air
著者 (7件):
CEN Z H
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
XU B X
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
HU J F
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
JI R
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
TOH Y T
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
YE K D
(Agency for Sci., Technol. and Res. (A-STAR), Singapore, SGP)
,
HU Y F
(Western Digital Corp., CA, USA)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
50
号:
7
ページ:
075105,1-6
発行年:
2017年02月22日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)