文献
J-GLOBAL ID:201702244088049022
整理番号:17A1457234
Si基板上に成長させた大面積GaNナノピラー林のリソグラフィー超音波処理パターン形成【Powered by NICT】
Lithographic sonication patterning of large area GaN nanopillar forests grown on a Si substrate
著者 (4件):
Weber J.C.
(National Institute of Standards and Technology, 325 Broadway, Boulder, CO 80305, USA)
,
Brubaker M.D.
(National Institute of Standards and Technology, 325 Broadway, Boulder, CO 80305, USA)
,
Wallis T.M.
(National Institute of Standards and Technology, 325 Broadway, Boulder, CO 80305, USA)
,
Bertness K.A.
(National Institute of Standards and Technology, 325 Broadway, Boulder, CO 80305, USA)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
181
ページ:
43-46
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)