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文献
J-GLOBAL ID：201702244175011558
整理番号：17A0946037
自己整合シャドウマスク法により製作した薄膜熱電デバイス
A thin film thermoelectric device fabricated by a self-aligned shadow mask method
YANG Fanglong
(Center of Excellence for Nanoscience, CAS, Beijing, CHN)
,
YANG Fanglong
(China Univ. Petroleum-Beijing, Beijing, CHN)
,
ZHENG Shuqi
(China Univ. Petroleum-Beijing, Beijing, CHN)
,
WANG Hanfu
(Center of Excellence for Nanoscience, CAS, Beijing, CHN)
,
CHU Weiguo
(Center of Excellence for Nanoscience, CAS, Beijing, CHN)
,
DONG Yuhua
(China Univ. Petroleum-Beijing, Beijing, CHN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27 号： 5 ページ： 055005,1-8 発行年： 2017年05月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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