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文献
J-GLOBAL ID：201702244239206486
整理番号：17A1276516
MEMS技術のための実際的な最悪時パラメータ【Powered by NICT】
Realistic worst-case parameter sets for MEMS technologies
Herrmann Andreas
(Institute for Electronic Design Automation, Technical University of Munich)
,
Hielscher Christof
(X-FAB Semiconductors Foundries AG)
,
Mueller Alexander
(X-FAB Semiconductors Foundries AG)
,
Hoelzer Gisbert
(X-FAB Semiconductors Foundries AG)
,
Graeb Helmut
(Institute for Electronic Design Automation, Technical University of Munich)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： SMACD ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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