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文献
J-GLOBAL ID：201702244656261145
整理番号：17A0381681
有効剛性摂動の検出方式を用いたマイクロ共振器に基づく静電電荷センサ【Powered by NICT】
Electrostatic charge sensor based on micro resonator with sensing scheme of effective stiffness perturbation
Chen Dongyang
(The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
,
Zhao Jiuxuan
(The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
,
Wang Yinshen
(The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
,
Xie Jin
(The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 1208-1211 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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