文献
J-GLOBAL ID:201702244750562310
整理番号:17A0366221
ゾル-ゲル誘導HfO_2薄膜に及ぼすUV/オゾンプラズマ処理の効果【Powered by NICT】
Effect of UV/ozone plasma treatment on sol-gel-derived HfO2 thin films
著者 (3件):
Kumar Manoj
(Department of Mechanical Engineering, Konkuk University, 120 Neungdong-ro, Gwangjin-gu, Seoul 143-701, South Korea)
,
Jeong Hakyung
(Department of Mechanical Engineering, Konkuk University, 120 Neungdong-ro, Gwangjin-gu, Seoul 143-701, South Korea)
,
Lee Dongjin
(Department of Mechanical Engineering, Konkuk University, 120 Neungdong-ro, Gwangjin-gu, Seoul 143-701, South Korea)
資料名:
Ceramics International
(Ceramics International)
巻:
43
号:
1 PB
ページ:
1174-1179
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0705A
ISSN:
0272-8842
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)