文献
J-GLOBAL ID:201702244928143909
整理番号:17A0527130
柔らかいマイクロマシニング応用のためのポリジメチルシロキサン膜のウェット化学エッチング特性の公開
Unveiling the wet chemical etching characteristics of polydimethylsiloxane film for soft micromachining applications
著者 (3件):
KAKATI A
(Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND)
,
MAJI D
(National Inst. of Technol., Jamshedpur, IND)
,
DAS S
(Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
1
ページ:
015033,1-11
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)