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文献
J-GLOBAL ID：201702245408212200
整理番号：17A0968159
ダイヤモンド状炭素膜の構造発展と局所弾性係数における基板バイアスと窒素ドーピングの役割
The role of substrate bias and nitrogen doping on the structural evolution and local elastic modulus of diamond-like carbon films
POLAKI S R
(Homi Bhabha National Inst., Mumbai, IND)
,
GANESAN K
(Indira Gandhi Centre for Atomic Res., Kalpakkam, IND)
,
SRIVASTAVA S K
(Indira Gandhi Centre for Atomic Res., Kalpakkam, IND)
,
KAMRUDDIN M
(Homi Bhabha National Inst., Mumbai, IND)
,
TYAGI A K
(Homi Bhabha National Inst., Mumbai, IND)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 50 号： 17 ページ： 175601,1-9 発行年： 2017年05月04日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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