文献
J-GLOBAL ID:201702245844579062
整理番号:17A0146564
半導体製造における品質管理のための理想的および可能性柔軟性測度【Powered by NICT】
Ideal and potential flexibility measures for qualification management in semiconductor manufacturing
著者 (4件):
Pianne Amelie
(Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE)
,
Rivero Luis
(Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE)
,
Dauzere-Peres Stephane
(Department of Manufacturing Sciences and Logistics, CMP, Ecole des Mines de Saint-Etienne, CNRS UMR 6158 LIMOS, 880 avenue de Mimet, F-13541 Gardanne, FRANCE)
,
Vialletelle Philippe
(Industrial Engineering, STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, F-38926 Crolles, FRANCE)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
WSC
ページ:
2621-2632
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)