文献
J-GLOBAL ID:201702245907136232
整理番号:17A1723542
fsレーザパルスを用いた処理によるMo/Si多層被覆の改質【Powered by NICT】
Modification of Mo/Si multilayer coating by processing with fs laser pulses
著者 (4件):
Oshemkov Sergey
(Carl Zeiss SMS Ltd., Carl Zeiss Group, Maale Camon 44, 21613 Karmiel, Israel)
,
Kruglyakov Vladimir
(Carl Zeiss SMS Ltd., Carl Zeiss Group, Maale Camon 44, 21613 Karmiel, Israel)
,
Perets Yuval
(Carl Zeiss SMS Ltd., Carl Zeiss Group, Maale Camon 44, 21613 Karmiel, Israel)
,
Blumrich Frederik
(Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Group, Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CLEO/Europe-EQEC
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)