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文献
J-GLOBAL ID：201702245964416126
整理番号：17A1036901
GaInAsP/SOIハイブリッドレーザのためのN_2プラズマ活性化接合【Powered by NICT】
N2-plasma activated bonding for GaInAsP/SOI hybrid lasers
Nishiyama Nobuhiko
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1S9-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8502, Japan)
,
Hayashi Yusuke
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1S9-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8502, Japan)
,
Suzuki Junichi
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1S9-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8502, Japan)
,
Arai Shigehisa
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1S9-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8502, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： LTB-3D ページ： 29 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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