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文献
J-GLOBAL ID：201702246034209798
整理番号：17A0579291
Al2O3,TiO2,ZnO,HfO2,ZrO2の原子層堆積を用いる銅の防食
Corrosion Protection of Copper Using Al2O3, TiO2, ZnO, HfO2, and ZrO2 Atomic Layer Deposition
DAUBERT James S.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
HILL Grant T.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
GOTSCH Hannah N.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
GREMAUD Antoine P.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
OVENTAL Jennifer S.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
WILLIAMS Philip S.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
OLDHAM Christopher J.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
PARSONS Gregory N.
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
資料名：
ACS Applied Materials & Interfaces
(ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9 号： 4 ページ： 4192-4201 発行年： 2017年02月01日
JST資料番号： W2329A ISSN： 1944-8244 CODEN： AAMICK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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