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J-GLOBAL ID：201702246086797332 整理番号：17A0362439

スケーリングされたCMOS技術における金属ゲート/high-kトランジスタのための回路信頼性相関する装置【Powered by NICT】

Device to circuit reliability correlations for metal gate/high-k transistors in scaled CMOS technologies

著者 (1件)：

Kerber A.

(Reliability Engineering, GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stone Break Road extension, Malta, NY 12020, USA)

資料名：

Microelectronics Reliability (Microelectronics Reliability)

巻： 64 ページ： 145-151 発行年： 2016年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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