文献
J-GLOBAL ID:201702246218750210
整理番号:17A0363252
半導体製造系におけるナノスケール特徴のインライン計測法【Powered by NICT】
In-line metrology of nanoscale features in semiconductor manufacturing systems
著者 (3件):
Yao Tsung-Fu
(Department of Mechanical Engineering, University of Texas at Austin, United States)
,
Duenner Andrew
(Department of Mechanical Engineering, University of Texas at Austin, United States)
,
Cullinan Michael
(Department of Mechanical Engineering, University of Texas at Austin, United States)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
47
ページ:
147-157
発行年:
2017年
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)