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文献
J-GLOBAL ID：201702246295248235
整理番号：17A0396254
YAP系セラミックスの耐プラズマ性および静電吸着特性
木村直人
(住友大阪セメント)
,
大友恵
(住友大阪セメント)
,
釘本弘訓
(住友大阪セメント)
,
高橋健太郎
(住友大阪セメント)
,
安藤和人
(住友大阪セメント)
資料名：
日本材料学会東海支部学術講演会講演論文集
(日本材料学会東海支部学術講演会予稿集)
巻： 11th ページ： 69 発行年： 2017年
JST資料番号： L5883A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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