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文献
J-GLOBAL ID：201702246436145499
整理番号：17A0055061
多重パターニング技術における製造可能性を意識したマスク帰属【Powered by NICT】
Manufacturability-aware mask assignment in multiple patterning lithography
Kohira Yukihide
(The University of Aizu, Aizu-Wakamatsu, Japan)
,
Takahashi Atsushi
(Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan)
,
Matsui Tomomi
(Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan)
,
Kodama Chikaaki
(Toshiba Corporation, Storage & Electronic Devices Solutions Company, Yokohama, Japan)
,
Nojima Shigeki
(Toshiba Corporation, Storage & Electronic Devices Solutions Company, Yokohama, Japan)
,
Tanaka Satoshi
(Toshiba Corporation, Storage & Electronic Devices Solutions Company, Yokohama, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： APCCAS ページ： 538-541 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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