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文献
J-GLOBAL ID：201702246502019839
整理番号：17A1627514
LZO薄膜のエピタクシーに及ぼす分離熱処理段階で採用された酸素分圧の影響【Powered by NICT】
Influence of oxygen partial pressure adopted in separate heat-treatment steps on the epitaxy of LZO film
Wang Yao
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
,
Li Chengshan
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
,
Feng Jianqing
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
,
Jin Lihua
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
,
Yu Zeming
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
,
Zhang Pingxiang
(Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 729 ページ： 475-482 発行年： 2017年
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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