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文献
J-GLOBAL ID：201702246911530190
整理番号：17A1421020
相転移VO_2膜を有する層状型デバイスのための底部電極としてのTiNとTiN/Tiの比較研究【Powered by NICT】
Comparative study of TiN and TiN/Ti as bottom electrodes for layered type devices with phase transition VO2 films
Mian Md. Suruz
(Department of Prime Mover Engineering, Tokai University, 4-1-1 Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan)
,
Okimura Kunio
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokai University, 4-1-1 Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan)
,
Kohzaki Masao
(Department of Mechanical Engineering, Tokai University, 4-1-1 Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 636 ページ： 63-69 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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