文献
J-GLOBAL ID:201702247138480289
整理番号:17A1627574
マグネトロンスパッタリングによって蒸着したNbN/MoNナノ多層皮膜の構造と性質【Powered by NICT】
Structure and properties of NbN/MoN nano-multilayer coatings deposited by magnetron sputtering
著者 (4件):
Wang Tao
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Jin Yaolong
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Bai Lijing
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
,
Zhang Guojun
(School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
資料名:
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻:
729
ページ:
942-948
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0083A
ISSN:
0925-8388
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)