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文献
J-GLOBAL ID：201702247292728239
整理番号：17A0550022
ドライ酸化,窒化,POCl3処理Si面SiC-MOS界面の電子スピン共鳴分光
KIM Geonwoo
(Tsukuba Univ.)
,
奥田貴史
(Kyoto Univ.)
,
須田淳
(Kyoto Univ.)
,
木本恒暢
(Kyoto Univ.)
,
岡本光央
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol.)
,
原田信介
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol.)
,
梅田享英
(Tsukuba Univ.)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th ページ： ROMBUNNO.16a-P5-13 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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