文献
J-GLOBAL ID:201702247462513728
整理番号:17A1085012
干渉レーザ加工用の方形及び上部平坦への4fシステムと空間光変調器によるビーム成形
Beam shaping by spatial light modulator and 4f system to square and top-flat for interference laser processing
著者 (7件):
OSAWA Kazuhito
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YOSHIDA Masataka
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
NAKATA Yoshiki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MIYANAGA Noriaki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
NARAZAKI Aiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
SHOJI Tatsuya
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
TSUBOI Yasuyuki
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10091
ページ:
100911C.1-100911C.8
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)