文献
J-GLOBAL ID:201702247568813347
整理番号:17A0472633
低速工具サーボを用いた超精密ダイヤモンド旋削によるマイクロレンズアレイのための単結晶シリコンの延性機械加工【Powered by NICT】
Ductile machining of single-crystal silicon for microlens arrays by ultraprecision diamond turning using a slow tool servo
著者 (2件):
Mukaida Mao
(Department of Mechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
,
Yan Jiwang
(Department of Mechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
資料名:
International Journal of Machine Tools & Manufacture
(International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻:
115
ページ:
2-14
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0568A
ISSN:
0890-6955
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)