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文献
J-GLOBAL ID：201702247893505350
整理番号：17A0400502
誘電体帯電はマイクロデバイス信頼性レビューにおけるドリフトを誘導した【Powered by NICT】
Dielectric charging induced drift in micro device reliability-a review
Zhou Wu
(School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, Chengdu 611731, China)
,
He Jiangbo
(School of Mechanical Engineering, University of Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
He Xiaoping
(Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China)
,
Yu Huijun
(School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, Chengdu 611731, China)
,
Peng Bei
(School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, Chengdu 611731, China)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 66 ページ： 1-9 発行年： 2016年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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