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文献
J-GLOBAL ID：201702247935881275
整理番号：17A1646076
異なるスパッタ材料の遮蔽有効性の測定と比較解析【Powered by NICT】
Measurement and comparative analysis of shielding effectiveness of different sputtered materials
Song Kyunghwan
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Cho Yeonje
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Kim Subin
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Jeong Seungtaek
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Kim Dong-Hyun
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Kim Hongseok
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Kim Joungho
(TeraByte Interconnection and Package Laboratory Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon, Korea)
,
Kim Bongsuk
(R&D Center Core & Integration Technology, Inc. Hwaseong, Korea)
,
Heo Jin
(R&D Center Core & Integration Technology, Inc. Hwaseong, Korea)
,
Jung Yusup
(R&D Center Core & Integration Technology, Inc. Hwaseong, Korea)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： EMCSI ページ： 355-359 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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