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文献
J-GLOBAL ID：201702247936017680
整理番号：17A1606813
ITOターゲットの焼結特性に及ぼす酸素流速の影響
Effects of oxygen flow velocity on the sintering properties of ITO targets
MEI Fangsheng
(Central South Univ., Changsha, CHN)
,
MEI Fangsheng
(Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN)
,
QIN Kai
(Central South Univ., Changsha, CHN)
,
YUAN Tiechui
(Central South Univ., Changsha, CHN)
,
LI Ruidi
(Central South Univ., Changsha, CHN)
,
LIU Langming
(Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN)
,
CHEN Lisan
(Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN)
,
ZHAO Weishang
(Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN)
資料名：
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28 号： 19 ページ： 14711-14719 発行年： 2017年10月
JST資料番号： W0003A ISSN： 0957-4522 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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