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文献
J-GLOBAL ID：201702247968402588
整理番号：17A0450112
ハロゲン化物CVDによる<110>配向β-SiCバルクの組成と微細構造に及ぼすCH_4/SiCl_4比の影響【Powered by NICT】
Effect of CH4/SiCl4 ratio on the composition and microstructure of 〈110〉-oriented β-SiC bulks by halide CVD
Tu Rong
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
,
Zheng Dingheng
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
,
Zheng Dingheng
(Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Cheng Hong
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
,
Hu Mingwei
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
,
Zhang Song
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
,
Han Mingxu
(Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Han Mingxu
(R&D, Ibiden Co. Ltd., 1-1 Kitagata, Ibigawa-cho, Ibi-gun, Gifu 501-0695, Japan)
,
Goto Takashi
(Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Zhang Lianmeng
(State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of the European Ceramic Society
(Journal of the European Ceramic Society)
巻： 37 号： 4 ページ： 1217-1223 発行年： 2017年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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