文献
J-GLOBAL ID:201702247980184550
整理番号:17A0550384
枚葉スピン方式を用いたフッ硝酸Siエッチングプロセス挙動解析(2)
著者 (5件):
大井上昂志
(Sony Semiconductor Manufacturing)
,
齋藤卓
(Sony Semiconductor Solutions)
,
奥山敦
(Sony Semiconductor Solutions)
,
萩本賢哉
(Sony Semiconductor Solutions)
,
岩元勇人
(Sony Semiconductor Solutions)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
64th
ページ:
ROMBUNNO.16p-E206-2
発行年:
2017年03月01日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)