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文献
J-GLOBAL ID：201702248805015188
整理番号：17A1708027
統合アノード層イオン源イオンビームスパッタモジュールにより堆積した酸化銀薄膜の制御された酸化状態【Powered by NICT】
Controlled oxidation state of silver oxide thin films deposited by an integrated anode layer ion source ion beam sputter module
Chen Ching-Hsiu
(Graduate Institute of Electro-Optical Engineering, Department of Electronic and Computer Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Huang Yu-Ling
(Graduate Institute of Electro-Optical Engineering, Department of Electronic and Computer Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Huang Kai
(Graduate Institute of Electro-Optical Engineering, Department of Electronic and Computer Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Ayalew Ejigu Assamen
(Graduate Institute of Electro-Optical Engineering, Department of Electronic and Computer Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Chao Liang-Chiun
(Graduate Institute of Electro-Optical Engineering, Department of Electronic and Computer Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Ao Jin-Ping
(Department of Electrical and Computer Engineering, Institute of Technology and Science, Tokushima University, 2-1 Minami-Josanjima, Tokushima 770-8506, Japan)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 412 ページ： 41-45 発行年： 2017年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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