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文献
J-GLOBAL ID：201702248972353766
整理番号：17A1035596
RF応用のための圧電Lamb波ディスク形状MEMS共振器【Powered by NICT】
A piezoelectric lamb-wave disk-shape MEMS resonator for RF applications
Zadehsafari Mohsen
(Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran)
,
Zolfaghari Parviz
(Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran)
,
Akbari Amir
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Science and Research Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran)
,
Ghavifekr Habib Badri
(Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： ICEEE ページ： 28-32 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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