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文献
J-GLOBAL ID：201702248987324582
整理番号：17A1077053
面内磁場モニタリング用MEMS共振センサの機械的設計
Mechanical design of a novel MEMS resonant sensor for monitoring in-plane magnetic fields
ALVARADO-ROSAS V. O.
(Universidad de Guanajuato, Guanajuato, MEX)
,
HERRERA-MAY A. L.
(Universidad Veracruzana, Veracruz, MEX)
,
AGUILERA-CORTES L. A.
(Universidad de Guanajuato, Guanajuato, MEX)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 23 号： 8 ページ： 3245-3255 発行年： 2017年08月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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