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文献
J-GLOBAL ID：201702249300251887
整理番号：17A0364746
原子層堆積により成長させたナノ結晶ZrO_2膜の結晶特性に及ぼすLa(NO_3)_36H_2O溶液の酸化剤効果【Powered by NICT】
Oxidant effect of La(NO3)3 6H2O solution on the crystalline characteristics of nanocrystalline ZrO2 films grown by atomic layer deposition
Oh Nam Khen
(Graduate School of Energy Science and Technology, Chungnam National University, 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34134, Korea)
,
Oh Nam Khen
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Kim Jin-Tae
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Kim Jin-Tae
(Department of Nanomaterials Science and Engineering, University of Science and Technology, 217 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Kang Goru
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
An Jong-Ki
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Nam Minwoo
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Kim So Yeon
(Graduate School of Energy Science and Technology, Chungnam National University, 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34134, Korea)
,
Park In-Sung
(Institute of Nano Science and Technology, Hanyang University, 222 Wangsimni-ro, Seongdong-gu, Seoul 04763, Korea)
,
Yun Ju-Young
(Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
,
Yun Ju-Young
(Department of Nanomaterials Science and Engineering, University of Science and Technology, 217 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 394 ページ： 231-239 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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