文献
J-GLOBAL ID:201702249356565096
整理番号:17A1444461
Maxwellソルバを用いたGISAXSパターンからのラメラ格子の詳細な線プロフィルの再構成【Powered by NICT】
Reconstructing detailed line profiles of lamellar gratings from GISAXS patterns with a Maxwell solver
著者 (8件):
Soltwisch Victor
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Fernandez Herrero Analia
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Pflueger Mika
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Haase Anton
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Probst Juergen
(Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB), Albert-Einstein-Strasse 15, 12489 Berlin, Germany)
,
Laubis Christian
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Krumrey Michael
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
,
Scholze Frank
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestrasse 2-12, 10587 Berlin, Germany)
資料名:
Journal of Applied Crystallography
(Journal of Applied Crystallography)
巻:
50
号:
5
ページ:
1524-1532
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0631A
ISSN:
0021-8898
CODEN:
JACGAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)